线扫相机成像


l4K线扫相机，配合线扫远心镜头拍照成像
l视野范围单次：12mm
l成像精度：5um，保证成像精度
l单次拍摄长边距离：12mm
l成像+拼图+缺陷比对时间：小于60s
l兼容支持多种规格芯片


1. 通过CCD视觉检测晶圆芯片电路级单元缺陷，标记缺陷产品。


2. 自动生成MAP图，精确给出对应的二维坐标点，供晶圆自动测试系统使用。